PSL Generator는 효율성 인증 프로세스의 일부로 ULPA 및 HEPA 클린 룸 필터에 도전하도록 설계되었습니다. HEPA 필터는 4/9 및 5/9 효율 등급을 제공하는 반면 ULPA 필터는 6/9 및 7/9 등급을 제공합니다.

0.3um의 PSL 구체는 일반적으로 HEPA 필터에 도전하고 핀 구멍 누출을 감지하는 데 사용되는 반면 0.15 μm 또는 0.12 μm의 PSL 구체는 ULPA 필터에 도전하고 핀 구멍 누출을 감지하는 데 사용됩니다.

6/9 필터가 필터를 통과하는 모든 입자의 99.9999 %를 포착 할 수 있다는 점을 고려하면 PSL 문제의 비율은 매우 중요합니다. 즉, 1/1 필터를 통과 할 수있는 6 만분의 9 입자이므로이 고효율의 필터에 도전하기 위해서는 대용량 PSL 발생기가 필요합니다. PSL Generator는 7.2 μm에서 10 × 10 0.10의 높은 볼륨 출력을 달성 할 수 있습니다. PSL 에어로졸은 적절한 기류와 혼합되고 DI 물은 필터 접촉 전에 구체에서 증발합니다.

특징

• • 7.2μm PSL 구체 크기에서 분당 10 × 10 0.10의 높은 PSL 생성 속도

• • 1 × 10 8 PSL 구체 / ft 3, 0.1 um PSL 크기, 720 × 2 '필터에서 4 cfm 기류, 90 ft / min면 속도

• • 최소 더블 렛 삼중 항 응집체를 갖는 단 분산 PSL 구체 분포

• • PO210 Ionizer를 사용한 최소 이중 및 삼중 하전 입자 (미국 전용)

• • 작은 DI 물방울 크기를 유지하는 고효율, 특허받은 분무기

• • 빠른 켜기 / 끄기 및 빠른 램프 속도로 PSL 구의 소비가 낭비되지 않습니다

• • 원격 작동 제어로 발전기를 필터 테스트 시스템에 포함시킬 수 있습니다

• • 오랜 기간 동안 매우 안정적인 PSL 구 출력 카운트

• 발전기를 자동화 할 수있는 뛰어난 제어 기능을 갖춘 스테인리스 스틸 인클로저