Applied Physics USA
폴리스티렌 라텍스 비드, 입자 크기 표준
Applied Physics 미국: PSL 구체, 폴리스티렌 미세 구체, 입자 크기 표준
Applied Physics USA는 에어로졸 기기 교정을 위한 입자 크기 표준으로 PSL Spheres 및 폴리스티렌 비드를 제공합니다. KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE 및 Hitachi와 같은 웨이퍼 검사 도구도 폴리스티렌 라텍스 구체를 사용하여 수행되는 크기 보정이 필요합니다. PSL 구, 폴리스티렌 미세구 및 비드는 각각의 웨이퍼 검사 시스템 및 레이저 입자 계수기의 크기 반응 곡선을 보정하기 위해 20nm에서 10미크론 크기로 제공됩니다. 20 nm에서 약 5 미크론까지의 PSL 구체는 일반적으로 레이저 입자 계수기의 크기 반응을 보정하는 데 사용됩니다. KLA-Tencor Surfscan 도구 및 이전 Tencor Surfscan 도구의 크기 응답을 보정하는 데 사용되는 Calibration Wafer Standards 및 Particle Wafer Standards를 생산하는 데 폴리스티렌 마이크로스피어를 사용할 수 있습니다.
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폴리스티렌 라텍스 비드는 전화로 주문할 수 있습니다. Applied Physics 에서 (719) 428-4042.
스캐닝 표면 검사 시스템(SSIS)이라고 하는 웨이퍼 검사 시스템(KLA-Tencor 및 Hitachi에서 가장 유명함)은 특정 크기와 좁은 크기 분포의 PSL 구체로 증착된 프라임 실리콘 웨이퍼인 PSL 웨이퍼 표준을 사용하여 보정됩니다. 웨이퍼 검사 도구는 300mm, 200mm, 150mm 웨이퍼 표면의 청결도를 검사하는 데 사용됩니다. 베어 실리콘 또는 필름 증착, 웨이퍼 표면. SSIS는 PSL 구체 및 입자의 X/Y 위치를 식별하고 각 결함의 크기를 설명하며 웨이퍼 표면의 전체 입자 수를 요약할 수 있습니다. Tencor 6200, 6420 및 KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 및 KLA-Tencor SP3과 같은 KLA-Tencor 웨이퍼 검사 시스템은 이 애플리케이션을 위해 반도체 산업 전반에 걸쳐 사용됩니다. Topcon에는 3000, 5000 및 7000 시리즈 웨이퍼 검사 시스템이 있습니다. Estek, ADE, Aeronca 및 Hitachi도 다양한 웨이퍼 검사 시스템을 제공합니다. 오늘날 생산되는 거의 모든 SSIS는 이제 30nm 이상의 입자 크기 감도에서 감지할 수 있습니다. PSL Spheres는 웨이퍼 표면의 입자 크기 표준을 나타내는 데 사용됩니다. Applied Physics 크기 보정, HEPA 필터 테스트 등을 위해 20nm에서 160미크론까지의 PSL Sphere 크기를 제공합니다. PSL Sphere는 전화로 주문할 수 있습니다. Applied Physics 에서 (719) 428-4042.
PSL Spheres는 PSL 웨이퍼 증착 시스템과 함께 사용되어 PSL 웨이퍼 표준 (입자 웨이퍼 표준이라고도 함)을 생성합니다. 두 경우 모두 PSL 웨이퍼 표준이 생성 된 후 웨이퍼 검사 시스템에 배치되고 단일 레이저 SSIS 또는 이중 레이저 SSIS로 스캔됩니다. 실제 PSL 크기 응답은 SSIS 크기 응답과 비교됩니다. 두 피크가 일치하지 않으면 SSIS를 보정해야합니다. 사전 혼합 된 고농도 PSL Sphere는 2300XP1 시스템, 2300 NPT-1 시스템, 2300NPT-2 및 M2300G3 웨이퍼 증착 시스템을위한 것입니다.
PSL 구체, 1 % 농도.
사전 혼합 된 PSL Sphere는 50ml 병에 들어 있으며, 단 분산 크기 (1 크기 분포)이며 약 47nm에서 950nm 크기로 제공됩니다. 이 PSL 용액은 분무기 또는 분무기 용기에 직접 부어진다. 사전 혼합은 폴리스티렌 라텍스 비드를 구입하는 편리한 방법입니다. 모든 희석은 매우 균일 한 방식으로 이루어지며 무스, 소란이 없으며, 사용자는 비이커, DI 물을 사용하여 폴리스티렌 라텍스 비드를 혼합하는 것을 처리 할 수 없습니다 초음파 트레이. 혼합되지 않은 PSL 재료는 15ml 병, 단 분산 크기 (1 크기 분포) 및 일반적으로 1 % 농도로 제공됩니다. 이 PSL Sphere는 광범위한 크기로 제공되지만 20nm에서 4um 크기까지 우리의 목적을 위해 제공됩니다. PSL 물질은 적절한 희석액에 혼합되어야하거나 상기 PSL 웨이퍼 증착 시스템 중 하나에 의해 증착하려고 할 때 효과적인 결과를 제공하기 위해 농축되거나 너무 약해야한다. 클린룸 포거스 링크