보정 웨이퍼 표준은 SSIS 도구의 두 가지 사양을 확인하고 제어하는 데 사용됩니다. 특정 입자 크기에서의 크기 정확도와 각 스캔 동안 웨이퍼 전체의 스캔 균일 성입니다.
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