PSL 교정 웨이퍼 표준, 실리카 오염 웨이퍼 표준
파티클 증착 도구는 다양한 웨이퍼 검사 시스템을 보정하기 위해 웨이퍼 표준에 매우 정확한 PSL 크기 표준 또는 실리카 입자 크기 표준을 증착하는 데 사용됩니다.
- PSL 교정 웨이퍼 웨이퍼를 스캔하기 위해 저전력 레이저를 사용하는 웨이퍼 검사 시스템의 교정을위한 표준.
- 웨이퍼를 스캔하기 위해 고출력 레이저를 사용하는 웨이퍼 검사 시스템의 교정을위한 실리카 오염 웨이퍼 표준.
교정 마스크 표준 또는 실리카 마스크 표준
당사의 2300 XP1은 붕규산 마스크 및 75mm ~ 300mm 웨이퍼 직경의 프라임 실리콘에 NIST 추적 가능, 인증 마스크 표준을 증착합니다.
- 125mm 및 150mm 마스크의 PSL 교정 마스크 표준
- 150mm 마스크의 실리카 오염 표준
- 75mm ~ 300mm 교정 웨이퍼 표준
- 75mm ~ 300mm 실리카 오염 웨이퍼 표준
교정 웨이퍼 표준 - 견적요청
오염 웨이퍼 표준, 교정 웨이퍼 표준 및 실리카 입자 웨이퍼 표준은 입자 증착 시스템으로 생산되며, 먼저 DMA(Differential Mobility Analyzer)로 PSL 크기 피크 또는 실리카 크기 피크를 분석합니다. DMA는 NIST 추적 가능한 입자 크기 보정을 기반으로 매우 정확한 크기 피크를 분리하기 위해 응축 입자 계수기 및 컴퓨터 제어와 결합된 매우 정확한 입자 스캐닝 도구입니다. 크기 피크가 확인되면 입자 크기 흐름은 웨이퍼 표준 표면인 프라임 실리콘으로 이동합니다. 입자는 일반적으로 웨이퍼 전체에 걸쳐 전체 증착으로 웨이퍼 표면에 증착되기 직전에 계산됩니다. 또는 웨이퍼 주변의 특정 위치에 최대 8개의 입자 크기를 스폿 증착으로 증착할 수 있습니다. 웨이퍼 표준은 KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, Surfscan SPx, Tencor 6420, Tencor 6220, Tencor 6200, ADE, Hitachi 및 Topcon SSIS 도구 및 웨이퍼 검사 시스템.
Applied Physics USA
차동 이동성 분석기, DMA 전압 스캔, 실리카 크기 피크, 100nm
Applied Physics USA |
PSL Spheres 크기 표준과 실리카 크기 표준은 차분 이동성 분석기로 스캔하여 실제 크기 피크를 결정합니다. 크기 피크가 분석되면, 웨이퍼 표준은 전체 증착 또는 스팟 증착 또는 다중 스팟 증착 웨이퍼 표준으로서 증착 될 수있다. 100 나노 미터 (0.1 마이크론)에서 실리카 크기 피크가 위에서 스캔되고 DMA가 101nm에서 실제 실리카 크기 피크를 감지합니다.
전체 증착 또는 스팟 증착 웨이퍼 표준 - 입자 증착 시스템은 매우 정확한 PSL 보정 웨이퍼 표준 및 실리카 오염 웨이퍼 표준을 제공합니다.
2300 XP1 입자 증착 시스템은 PSL 웨이퍼 표준 및 실리카 웨이퍼 표준을 생성하기 위해 자동 입자 증착 제어를 제공합니다.
입자 증착 응용
- PSL 크기 정확도 및 크기 분포 폭을 위해 고해상도, NIST 추적 가능 DMA (차동 분석기) 크기 및 분류가 새로운 SEMI 표준 M52, M53 및 M58 프로토콜을 초과 함
- 60nm, 100nm, 269nm 및 900nm에서 자동 증착 크기 보정
- 시스템 안정성 및 측정 정확도 향상을 위해 자동 온도 및 압력 보상 기능을 갖춘 고급 DMA (Advanced Differential Mobility Analyzer) 기술
- 자동 증착 프로세스는 하나의 웨이퍼에 여러 개의 스팟 증착을 제공합니다
- 웨이퍼에 걸친 전체 웨이퍼 침착; 또는 웨이퍼상의 어느 위치에서나 스폿 증착
- 20nm에서 2um까지 PSL 구형 및 실리카 입자 증착을 허용하는 고감도
- 고출력 레이저 스캐닝을 사용하여 웨이퍼 검사 시스템 교정을위한 실리카 입자 증착
- 저전력 레이저 스캐닝을 사용하여 웨이퍼 검사 시스템의 교정을위한 PSL 구체 증착
주요 실리콘 웨이퍼 표준 또는 150mm 포토 마스크에 PSL 구 및 실리카 입자를 증착합니다.