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PSL Spheres 47 nm, 50ml 병 용량 폴리스티렌 라텍스 비즈

Surf-Cal, 입자 크기 표준, 50ml 부피, 1x10E8 및 1x10E10 농도/ml로 미리 혼합됨

표면 주사 검사 시스템(SSIS)의 크기 보정 및 모니터링에 사용되는 SURF-CAL™ 입자 크기 표준. 아래의 입자 크기는 기기 제조업체에서 요구하는 보정 입자 크기에 해당합니다. 웨이퍼 검사 스캐너가 다른 위치의 스캐너와 비교되도록 하려면 주기적인 보정 검사와 주간 크기 및 개수 모니터링을 완료해야 합니다. 모든 폴리스티렌 마이크로스피어는 mL당 50 x 3 E10 또는 8 x 1 E10 입자의 농도로 10mL 병 부피의 탈이온 여과수에 현탁됩니다. *로 표시된 크기는 해당 직경의 NIST SRM 입자와 유사합니다. 굴절률은 아래의 모든 폴리스티렌 미세구에 대해 1.59 @ 589nm(25C)입니다. 각 병은 12개월 동안 안정적이며 NIST에 대한 교정 및 추적 인증서와 함께 포장됩니다.

베어 실리콘 및 패턴 웨이퍼에 SURF-CAL, NIST 추적 가능 PSL(폴리스티렌 라텍스) 구를 증착하면 KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS 도구에서 주기적인 크기 보정 검사를 수행하고 웨이퍼 검사 스캐너를 스캐너와 비교할 수 있습니다. 다른 위치. 제조 공정의 중요한 단계에서 SSIS의 성능을 평가할 수도 있습니다. 모든 제품은 50 x3 e10 입자/mL 또는 10 x1 e10 입자/mL의 농도로 10 mL 병에 담긴 탈이온 여과수(DI 수)에 현탁됩니다. 이러한 Surf-Cal 입자 크기 표준은 DMA(Differential Mobility Analyzer) 또는 기타 크기 배제 기술에 의해 크기가 조정된 폴리스티렌 마이크로스피어입니다.

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부품 번호

농도 카운트/ml

입자 직경

크기 분포

 50ml 병당 가격
APPD-047 3 x 108 입자/mL 0.047 μm의 0.004μm

$ 295.00   장바구니에 추가
APPD-047B 1 x 1010 입자/mL 0.047 μm의 0.004μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
APPD-064 3 x 108 입자/mL 0.064 μm의 0.003μm

$ 295.00   장바구니에 추가
APPD-064B 1 x 1010 입자/mL 0.064 μm의 0.003μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
APPD-083 3 x 108 입자/mL 0.083 μm의 0.004μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-083B 1 x 1010 입자/mL 0.083 μm의 0.004μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-092 3 x 108 입자/mL 0.092 μm의 0.004μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-092B 1 x 1010 입자/mL 0.092 μm의 0.004μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-100* 3 x 108 입자/mL 0.100 μm의 0.003μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-100B* 1 x 1010 입자/mL 0.100 μm의 0.003μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-125 3 x 108 입자/mL 0.126 μm의 0.003μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-125B 1 x 1010 입자/mL 0.126 μm의 0.003μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-155 3 x 108 입자/mL 0.155 μm의 0.003μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-155B 1 x 1010 입자/mL 0.155 μm의 0.003μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-200 3 x 108 입자/mL 0.202 μm의 0.004μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-200B 1 x 1010 입자/mL 0.202 μm의 0.004μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-204 3 x 108 입자/mL 0.204 μm의 0.004μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-204B 1 x 1010 입자/mL 0.204 μm의 0.004μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-215 3 x 108 입자/mL 0.220 μm의 0.003μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-215B 1 x 1010 입자/mL 0.220 μm의 0.003μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-305 3 x 108 입자/mL 0.304 μm의 0.004μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-305B 1 x 1010 입자/mL 0.304 μm의 0.004μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-365 3 x 108 입자/mL 0.360 μm의 0.005μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-365B 1 x 1010 입자/mL 0.360 μm의 0.005μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-500 3 x 108 입자/mL 0.498 μm의 0.006μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-500B 1 x 1010 입자/mL 0.498 μm의 0.006μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-800 3 x 108 입자/mL 0.809 μm의 0.006μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-800B 1 x 1010 입자/mL 0.809 μm의 0.006μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD-802 3 x 108 입자/mL 0.802 μm의 0.009μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD-802B 1 x 1010 입자/mL 0.802 μm의 0.009μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD1100 3 x 108 입자/mL 1.112 μm의 0.011μm

$ 295.00   장바구니에 추가
AP PD1100B 1 x 1010 입자/mL 1.112 μm의 0.011μm

$ 1495.00   장바구니에 추가
AP PD1600 3 x 108 입자/mL 1.59 μm의 0.016μm $ 295.00   장바구니에 추가
AP PD2000 3 x 108 입자/mL 2.01 μm의 0.019μm $ 295.00   장바구니에 추가
AP PD3000 3 x 108 입자/mL 3.04 μm의 0.026μm $ 295.00   장바구니에 추가

측정 방법론 :

NIST 추적성을 보장하기 위해 이러한 제품의 인증된 직경은 NIST 표준 참조 자료(2)에서 투과 전자 또는 광학 현미경으로 전송되었습니다. Uncertainty는 NIST Technical Note 1297, 1994 Edition "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results"(4)를 사용하여 계산되었습니다. 나열된 불확실성은 포함 계수가 2(K=2)인 확장된 불확실성입니다. 피크 직경은 입자 크기 분포의 대략 ± XNUMXs 범위를 사용하여 계산되었습니다. 크기 분포는 전체 피크의 표준 편차(SDS)로 계산되었습니다. 변동 계수(CV)는 피크 직경의 백분율로 표현되는 하나의 표준 편차입니다. FWHM(반치폭) 분포는 피크 직경의 백분율로 표현된 피크 높이의 절반에서의 분포로 계산되었습니다.

1. "반도체 국가기술로드맵", 반도체산업협회(1999)

2. SD Duke 및 EB Layendecker, "전자 현미경에 의한 서브미크론 구형 입자의 크기 보정을 위한 내부 표준 방법", 미세 입자 학회(1988)

3. SEMI M52 — 실리콘 웨이퍼 표면 검사 시스템 지정을위한 안내서 130 nm 기술 생성.

4. Barry N. Taylor 및 Chris E. Kuyatt, "NIST 측정 결과의 불확실성 평가 및 표현을 위한 지침". NIST 기술 노트 1297, 1994년판, 1994년 XNUMX월.

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